Преимущества использования:
- компактная конструкция поста;
- безмасляная откачка;
- предельный вакуум до 10-5 Па;
- низкий уровень шума и вибрации;
- эргономичный корпус;
- интуитивный интерфейс управления;
- низкий вес.
Состав вакуумного поста:
- форвакуумный спиральный насос, 12 куб.м/ч ;
- турбомолекулярный насос, 300 л/с;
- вакуумный затвор ISO 100, 1шт.;
- встроенная система управления, 1шт;
- датчик давления широкодиапазонный, 1шт;
- электромагнитный клапан, 1шт;
- система воздушного охлаждения, 1шт.
